X射線熒光光譜儀 （XRF） 能夠對多種材料進行元素分析，包括固體、液體和疏松粉末。 Zetium 光譜儀專為滿足要求嚴苛的流程控制和研發應用需求而設計，其高品質的設計和功能，可對從鈹到镅等多種元素進行精度范圍從百萬分之一以下到百分之一的分析。

馬爾文帕納科臺式XRF能譜儀一體機Epsilon 1 是一款集成型能量色散型 XRF 分析器，其包括光譜儀、內置計算機、觸摸屏和分析軟件。 Epsilon 1 采用激發和檢測技術的新成果，是低成本小型臺式XRF儀器。

馬爾文帕納科推出的臺式XRF Epsilon 4 臺式X射線熒光光譜儀將新的激發和檢測技術于智能設計相結合，其分析更能更接近于功率更高的落地式光譜儀。多重優化的 X 射線輸出和探測系統確保您擁有Z杰出的系統性能。

馬爾文帕納科2830 ZT 晶圓分析儀提供了用于測量薄膜厚度和成分的功能。 2830 ZT 圓晶分析儀專門針對半導體和數據存儲行業而設計，該儀器可為多種晶片（厚達 300 mm）測定層結構、厚度、摻雜度和表面均勻性。

通過使用馬爾文帕納科X射線熒光光譜儀Epsilon Xflow進行在線液體分析，可以快速準確地控制過程參數。 增強的法規和質量規范推動對持續工藝流程的需求。 Epsilon Xflow 提供的實時洞察能力讓您能夠更有效地管理您的生產工藝并降低運營成本。